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7. ÐͲÄÕÖ&FFU
| »ù±¾²ÎÊý | ²ÎÊýÖµ |
| ·ÖÇÐËÙ¶È | Max.35m/min |
| À´ÁÏ¾í¾¶ | Max.Φ500mm |
| À´ÁÏ¿í¶È | Max400mm |
| ·ÖÇпí¶È | 6.5~35mm£¨·ÖÇÐÌõÊýMAX.24£© |
| ·ÖÇо«¶È | ≤±0.05mm£¨¼ä϶Ϳ²¼£¬Çзϱߣ© |
| ë´Ì¾«¶È | ´¹Ö±·½Ïòë´Ì£º≤3.5µm Æ½Ãæ·½Ïòë´Ì£º ≤5µm |
| ·ÖÇбßÔµÉßÐÎÆ«ÒÆ | ≤±0.4mm/1000mm |
| ÊÕ¾í¶ÔÆë¶È | ≤±0.5mm/¾í |
| EPC¸ú±ß»ò¸úÏßµ¥¾ÀÆ« | ¾ÀÆ«¾«¶È±0.1mm£¬¾ÀÆ«Ðг̨R ±50mm |