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11. ÐͲÄÕÖ & FFU
| »ù±¾²ÎÊý | ²ÎÊýÖµ |
| ·ÖÇÐËÙ¶È | Max 120m/min |
| ·Å¾í¾í¾¶ | Max 1000mm |
| ÊÕ¾í¾í¾¶ | Max1000mm |
| ·ÖÇпí¶È | Max 1500mm£¨ÊÊӦͿ²¼¿í¶È£© |
| ·ÖÇо«¶È | ±0.3mm£¨²»Çзϱߣ© |
| ë´Ì¾«¶È | ´¹Ö±·½Ïò ≤7µm,Æ½Ãæ·½Ïò ≤15µm |
| ·ÖÇбßÔµÉßÐÎÆ«ÒÆ | ≤0.5mm/m |
| ÊÕ¾í±ßÔµ¶ÔÆë¶È | ≤ ±0.5mm |